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D07-19B/BM系列质量流量控制器
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编号项 目D07-19B1流量规格(0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM(0~1,2,3,5,10,20,30) SLM2******度±1 % F.S. (20,30SLM: &...
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编号 项 目 D07-19B
 
1		  
流量规格		 ( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM
( 0~1,2,3,5,10,20,30) SLM
2 ******度 ±1 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.)
3 线性 ±0.5 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.)
4 重复精度 ±0.2 % F.S.
5 响应时间 ≤2 sec
6 工作压差范围 ≤10SLM： 0.1 ~ 0.5 MPa (14.5~72.5 psid)
＞10SLM： 0.1~ 0.3 MPa (14.5~43.5 psid)
7 耐压 3 MPa (435.1 psig)
8 工作环境温度 5  ℃ ~ 45 ℃
9 输入输出信号 0 V ~ +5.00 V
(输入阻抗大于 100K, 输出电流不大于 3mA)
10 电源 +15 V 50 mA
-15V 200 mA
11 外形尺寸 见图 4
12 重量 0.95 kg

编号 项 目 D07-19BM
1  
流量规格		 ( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM
( 0~1,2,3,5,10,20,30) SLM
2 ******度 ±1 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.)
3 线性 ±0.5 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.)
4 重复精度 ±0.2 % F.S.
5 响应时间 ≤2sec
6 气压降 <0.02 MPa (2.9 psid)
7 耐压 10 MPa (1450.4 psig)
8 工作环境温度 5  ℃ ~ 45 ℃
9 输出信号 0 V ~ +5.00 V
(输入阻抗大于 100K, 输出电流不大于 3mA)
10 电源 +15 V 50 mA
－15 V 50 mA
11 外形尺寸 见图 4
12 重量 0.7 kg